高頻火花檢漏儀的檢測原理主要基于電火花在真空系統(tǒng)中的放電特性。當放電端在移動過程中遇到漏孔時，分散跳躍的火花會集中起來，變成一束細長的很明亮的火花束，并且其末端正好指在漏孔上。這是因為空氣分子經(jīng)過漏孔進入真空系統(tǒng)，當放電端移到漏孔上時，就將氣體電離。由于電離氣體的導電率遠比絕緣的玻璃等材料高，所以火花束就集中起來形成一個強烈的明亮的火花束照射在漏孔上。此外，還可以通過觀察真空系統(tǒng)中輝光放電現(xiàn)象的變化情況來粗略地估計真空系統(tǒng)的真空度。

 

　　利用高頻電火花來檢測真空系統(tǒng)的微小漏洞。當放電端在真空系統(tǒng)表面移動時，若無漏孔存在，火花分布很分散，在玻璃等非導電體表面跳躍位置不定。而一旦遇到漏孔，電火花會穿過漏孔進入真空系統(tǒng)內部，形成一個明亮的點，從而準確指示出漏孔的位置。這種檢測原理使得高頻火花檢漏儀能夠迅速發(fā)現(xiàn)并定位漏孔，提高檢測效率。
 

　　它不僅可以用于檢測玻璃真空系統(tǒng)的微小漏洞，還可以對橡塑管道、陶瓷管道等一切非導電體的真空系統(tǒng)進行檢漏。此外，對于金屬真空系統(tǒng)或容器，雖然不能直接使用高頻火花檢漏儀進行檢測，但可以通過在金屬系統(tǒng)上安置玻璃規(guī)管或盲管等輔助設備來進行間接檢漏。
 

　　高頻火花檢漏儀具有準確的檢測能力。其檢測速度快，能夠在短時間內完成大面積的檢測工作。同時，由于采用高頻電火花作為檢測手段，因此具有較高的靈敏度，能夠發(fā)現(xiàn)微小的漏孔。此外，操作也相對簡單，易于上手，使得檢測工作更加便捷。